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質量流量計和質量流量控制器的區別

時間│✘│:2020-06-08 瀏覽次數│✘│:1075

途和特點
氣體質量流量控制器(MFC)在石化工業◕₪✘•↟、生化◕₪✘•↟、半導體和積體電路工業◕₪✘•↟、特種材料學科◕₪✘•↟、醫藥◕₪✘•↟、蔬果保鮮◕₪✘•↟、加氣飲料◕₪✘•↟、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用↟☁▩☁·。其典型的場合包括│✘│:電子工藝裝置↟✘•▩•,如│✘│:氧化◕₪✘•↟、CVD◕₪✘•↟、MOCVD◕₪✘•↟、擴散◕₪✘•↟、外延◕₪✘•↟、等離子刻蝕◕₪✘•↟、離子注入◕₪✘•↟、濺射◕₪✘•↟、以及微反應裝置◕₪✘•↟、混氣配氣系統◕₪✘•↟、真空鍍膜裝置◕₪✘•↟、光纖熔鍊◕₪✘•↟、氣相色譜儀及其他分析儀器↟☁▩☁·。
結構

氣體質量流量計由流量感測器(Sensor)↟✘•▩•,分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質量流量計的基礎上↟✘•▩•,再加上調節閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器↟☁▩☁·。
工作原理
•流量感測器採用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)↟☁▩☁·。
•將感測器加熱電橋測得的流量訊號送入放大器放大↟✘•▩•,放大後的流量檢測電壓與設定電壓進行比較↟✘•▩•,再將差值訊號放大後去控制調節閥門↟✘•▩•,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等↟☁▩☁·。
•分流器決定主通道的流量↟☁▩☁·。
•與之配套的流量顯示儀上設定有穩定電源↟✘•▩•,3位半數字電壓表↟✘•▩•,設定電位器↟✘•▩•,外設◕₪✘•↟、內設轉換和三位閥控開關等↟☁▩☁·。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比↟✘•▩•,滿量程(F.S)流量檢測輸出電+5V↟☁▩☁·。氣體質量流量控制器的流量控制範圍是(2~100)%F.S(程比為50│✘│:1)

主要技術指標

編號 專案 MF-200C MF-200M
1 流量規格(N2) 10sccm~30slpm 
2 準確度 ±1%F.S(Full Scale)
3 重複精度 ±0.25%F.S(Full Scale)
4 響應時間 ≤2sec(特別要求時│✘│:≤1sec)
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環境溫度 0℃~50℃
7 輸入輸出訊號 0~5V 0~5V or 4~20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用範圍 2~100%滿量程

質量流量計│✘│:質量流量計只是單純的顯示流量但並不控制↟☁▩☁·。

質量流量控制器│✘│:質量流量控制器既能顯示顯示流量又有控制功能↟✘•▩•,流量計內部多了個電磁調節閥來實現控制流量大小↟☁▩☁·。

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