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產品名稱✘••▩·:

美國BROOKS.布魯克斯質量流量計

產品型號✘••▩·: GF40
產品時間✘••▩·: 2020-06-30
描述✘••▩·:產品簡介
品牌材質精度等級適用介質款式轉換器形式公稱直徑壓力範圍工作壓力流量測速範圍溫度範圍工作溫度產地加工定製
無不鏽鋼
1氣體
電子帶數顯一體式
3-6mm低壓
0-1Mpa0-30SLPMkg/h
中溫0-65℃
進口否

產品介紹

詳細介紹

 布魯克斯/Brooks GF氣體質量流量控制器和流量計廣泛應用於:真空鍍膜裝置╃◕·、光電產業到工業工具的表面鍍膜╃◕·、SPUTTER磁控濺射臺╃◕·、PVD╃◕·、CVD╃◕·、MOCVD╃◕·、氧化╃◕·、等離子刻蝕╃◕·、離子注入·☁,直拉式晶爐·☁,精密半導體╃◕·、燃料電池╃◕·、氣調儲存保鮮相關裝置╃◕·、生物反應器╃◕·、生物過程控制器╃◕·、大學實驗室╃◕·、研究所╃◕·、食品及製藥產業╃◕·、醫療裝置╃◕·、氣相色譜儀等相關行業◕☁₪。?數模橡膠密封;流量範圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)

  • DeviceNet™╃◕·、RS-485 L-協議和模擬介面
  • 按照半導體行業標準對高效能元件進行七次連續測試以確保其可靠性
  • 表面積和未吹掃體積更小的全金屬耐腐蝕流路可確保流路在吹掃步驟更快乾燥
  • MultiFlo™技術可在60秒內完成新過程氣體和/或量程的設定操作–不再需要拆除並校準MFC

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