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布魯克斯/Brooks GF氣體質量流量控制器和流量計廣泛應用於:真空鍍膜裝置╃◕·、光電產業到工業工具的表面鍍膜╃◕·、SPUTTER磁控濺射臺╃◕·、PVD╃◕·、CVD╃◕·、MOCVD╃◕·、氧化╃◕·、等離子刻蝕╃◕·、離子注入·☁,直拉式晶爐·☁,精密半導體╃◕·、燃料電池╃◕·、氣調儲存保鮮相關裝置╃◕·、生物反應器╃◕·、生物過程控制器╃◕·、大學實驗室╃◕·、研究所╃◕·、食品及製藥產業╃◕·、醫療裝置╃◕·、氣相色譜儀等相關行業◕☁₪。?數模橡膠密封;流量範圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)
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