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18502978886產品介紹
K1000質量流量控制器為高精度╃│,高穩定性的熱式質量流量控制器◕•╃。它的量程範圍從10sccm到1000sccm╃│,K1000A為小流量量程MFC(從10sccm~50slm)╃│,具備多氣體多量程功能╃│,8種BIN Size能對應10sccm~50slm的所有流量
K1000質量流量控制器優勢
• 感測器部分採用哈氏合金╃│,耐腐蝕性強◕•╃。
• 產品精度高╃│,可達~25%↟·↟☁·:±1.0% of S.P.₪◕✘││、25%~2%↟·↟☁·:±0.25%F.S. 響應時間快(≤1s)
• 產品具有多氣體多量程功能╃│,可對氣體種類₪◕✘││、流量的變更設定
• 支援大流量(大可到1000L)數字模式通訊模式
• 產品透過CE₪◕✘││、RoHS認證
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K1000質量流量控制器優勢
• 感測器部分採用哈氏合金╃│,耐腐蝕性強◕•╃。
• 產品精度高╃│,可達~25%↟·↟☁·:±1.0% of S.P.₪◕✘││、25%~2%↟·↟☁·:±0.25%F.S. 響應時間快(≤1s)
• 產品具有多氣體多量程功能╃│,可對氣體種類₪◕✘││、流量的變更設定
• 支援大流量(大可到1000L)數字模式通訊模式
• 產品透過CE₪◕✘││、RoHS認證
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