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18502978886產品介紹
K1000質量流量控制器為高精度╃·,高穩定性的熱式質量流量控制器▩│✘▩。它的量程範圍從10sccm到1000sccm╃·,K1000A為小流量量程MFC(從10sccm~50slm)╃·,具備多氣體多量程功能╃·,8種BIN Size能對應10sccm~50slm的所有流量
K1000質量流量控制器優勢
• 感測器部分採用哈氏合金╃·,耐腐蝕性強▩│✘▩。
• 產品精度高╃·,可達~25%↟╃◕✘:±1.0% of S.P.▩••、25%~2%↟╃◕✘:±0.25%F.S. 響應時間快(≤1s)
• 產品具有多氣體多量程功能╃·,可對氣體種類▩••、流量的變更設定
• 支援大流量(大可到1000L)數字模式通訊模式
• 產品透過CE▩••、RoHS認證
K1000質量流量控制器為高精度╃·,高穩定性的熱式質量流量控制器▩│✘▩。它的量程範圍從10sccm到1000sccm╃·,K1000A為小流量量程MFC(從10sccm~50slm)╃·,具備多氣體多量程功能╃·,8種BIN Size能對應10sccm~50slm的所有流量
K1000質量流量控制器優勢
• 感測器部分採用哈氏合金╃·,耐腐蝕性強▩│✘▩。
• 產品精度高╃·,可達~25%↟╃◕✘:±1.0% of S.P.▩••、25%~2%↟╃◕✘:±0.25%F.S. 響應時間快(≤1s)
• 產品具有多氣體多量程功能╃·,可對氣體種類▩••、流量的變更設定
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• 產品透過CE▩••、RoHS認證
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