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產品名稱·▩•╃│:

七星華創質量流量控制器流量計

產品型號·▩•╃│: D07 -19
產品時間·▩•╃│: 2021-08-05
描述·▩•╃│:七星華創質量流量控制器流量計
1. 使用須知…………………..……….. 1 6.2.1 開機預熱 ……………………….. 17
2. 用途和特點………………………… 1 6.2.2 檢查和調整零點 ………………… 17
3. 主要技術指標……………………… 3 6.2.3 通氣工作 ………………………… 17
4. 結構和工作原理…………………… 4 6.2.4 關機 ………………………………

產品介紹

七星華創質量流量控制器流量計

質量流量控制器和質量流量計使 用 手 冊1. 使用須知尊敬的使用者✘☁☁☁✘,感謝您購買本公司生產的 D07 系列質量流量控制器/質量流量計產品✘↟。本手冊詳細敘述了正確✘╃、安全使用該系列產品的必要事項✘↟。產品使用者✘☁☁☁✘,請務必認真參閱本手冊並理解後使用✘☁☁☁✘,在使用過程中✘☁☁☁✘,請注意帶有 標誌的文字及注意事項中包含的所有內容✘↟。對於未按照使用手冊使用造成的財產損失或人身傷害✘☁☁☁✘,本公司有權不承擔責任✘↟。本手冊對您安裝✘╃、維護及故障維修時✘☁☁☁✘,請妥善留存保管✘↟。2. 用途和特點質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM)用於對氣體的質量流量進行精密測量;質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為 MFC)用於對氣體的質量流量進行精密測量和控制✘↟。它們在半導體微電子工業✘╃、特種材料研製✘╃、化學工業✘╃、石油工業✘╃、醫藥✘╃、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用✘↟。其典型的應用場合包括: 電子工藝裝置,如擴散✘╃、氧化✘╃、外延✘╃、CVD✘╃、等離子刻蝕✘╃、濺射✘╃、離子注入; 以及真空鍍膜裝置✘╃、光纖熔鍊✘╃、微反應裝置✘╃、混氣配氣系統✘╃、毛細管測量✘╃、氣相色譜儀及其它分析儀器✘↟。D07 系列質量流量控制器和質量流量計具有精度高✘╃、重複性好✘╃、響應速度快✘╃、軟啟動✘╃、穩定可靠✘╃、工作壓力範圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便,可任意位置安裝, 並便於與計算機連線實現自動控制✘↟。D07 系列質量流量控制器和質量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產品配套使用,控制器與顯示儀之間用專用電纜連線

七星華創質量流量控制器流量計

3. 主要技術指標表 1. D07-19B 型 MFC 效能指標編號 項 目 D07-19B1 流量規格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 準確度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 線性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重複精度 ±0.2 % F.S.5 響應時間 ≤2 sec6 工作壓差範圍 ≤10SLM·▩•╃│: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)>10SLM·▩•╃│: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 最大工作壓力 1 MPa8 耐壓 3 MPa (435.1 psig)9 工作環境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃10 輸入輸出訊號 0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大於 100K, 輸出電流不大於 3mA)11 電源 +15 V 50 mA; -15V 200 mA12 外形尺寸 見圖 413 重量 0.95 kg注意 :質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定✘↟。質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)標準狀態規定為: 溫度 --- 273.15K ( 0℃ ); 氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)在七星流量計 MFC/MFM 產品中心✘☁☁☁✘,單位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm"等同✘☁☁☁✘,單位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm"等同✘↟。 第 4 頁 共 28 頁F.S. (Full Scale): 滿量程值表 2. D07-19BM 型 MFM 效能指標編號 項 目 D07-19BM1 流量規格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 準確度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 線性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重複精度 ±0.2 % F.S.5 響應時間 ≤2sec6 氣壓降 <0.02 MPa (2.9 psid)7 最大工作壓力 1 MPa8 耐壓 10 MPa (1450.4 psig)9 工作環境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃10 輸出訊號 0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大於 100K, 輸出電流不大於 3mA)11 電源 +15 V 50 mA-15 V 50 mA12 外形尺寸 見圖 413 重量 0.7 kg各型號產品的主要技術指標見表 1 和表 2✘↟。D07-19BM 型是 D07-19B 型的流量測量部分✘☁☁☁✘,同類型的 MFM 與 MFC 在流量計量部分的技術指標相同✘↟。4. 結構和工作原理4.1 結構質量流量計由流量感測器, 分流器通道和流量放大電路等部件組成;在質量流量計的基礎上✘☁☁☁✘,再加上調節閥門和 PID 控制電路就構成了質量流量控制器✘↟。D07-19B 型質量流量控制器, 開啟外罩後的結構如圖 2 所示✘↟。


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