BROOKS MFC 氣體質量流量計 ODEL型號╃│✘：5850I GAS氣體╃│✘：N2 FLOW RANGE流量:200SCCM INPUT PRESSURE進口壓力:╃│✘：0.4Mpa OUTPUT PRESSURE出口壓力╃│✘：0.1Mpa O-RING SEAL 密封:╃│✘：Viton FITTING氣路接頭:╃│✘：1/4“SWG OUTPUT 訊號輸出:0-5V Power電源╃│✘：±1

應用行業╃│✘：石油化工◕↟、大學實驗室◕↟、航空航天◕↟、研究所◕↟、醫院◕↟、食品製造業◕↟、造船◕↟、半導體◕↟、太陽能◕↟、液晶面板製造◕↟、微電子等行業 應用領域╃│✘：儀表系統◕↟、流體裝置等檢測流體或控制流體流量的領域. 產品種類╃│✘：質量流量計◕↟、質量流量控制器◕↟、流量控制儀表◕↟、流量控制系統裝置（多路控制）